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自動(dòng)勻膠機

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設備名稱(chēng) 自動(dòng)勻膠機  品牌型號 (2C)KS -S(III)100 -2

設備用途
通過(guò)高速旋轉的電機帶動(dòng)晶圓轉動(dòng),結合自動(dòng)滴膠,將光刻膠均勻的涂覆到晶圓上。帶有自動(dòng)熱板和冷板。

主要技術(shù)指標:
可用晶圓尺寸:2inch 3inch
最大轉速:4500rpm
轉速偏差:±1RPM
熱板溫度范圍: 50-150℃
冷板溫度范圍:18-28℃
膜厚均勻性:3%(對2μm厚度以下膠)

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