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HMDS烘箱

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設備名稱(chēng) HMDS烘箱 品牌型號 鑫力V0-30-HMDS

設備用途
在樣片表面粘附一層HMDS以增加樣片和光刻膠的粘附力。

主要技術(shù)指標:
溫度范圍:室溫-150℃
控溫精度:±4℃
漏率:腔體漏率小于1Torr/5min

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