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平臺介紹

青島翼晨鐳碩微納加工平臺隸屬青島翼晨鐳碩科技有限公司,公司獲評國家高新技術(shù)企業(yè),擁有超過(guò)20項的國際、國內專(zhuān)利,是山東省、青島市、上合示范區、膠州市的重點(diǎn)項目,已投資超過(guò)1.6億元。公司與膠州市政府、青島大學(xué)共建了光電產(chǎn)學(xué)研基地,為技術(shù)人員、學(xué)生提供專(zhuān)業(yè)半導體技術(shù)實(shí)訓。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺擁有專(zhuān)業(yè)的外延生長(cháng)、電子束曝光、紫外光刻、RIE刻蝕、ICP刻蝕、PVD鍍膜、CVD鍍膜等核心微納加工設備以及相應的配套檢測設備,具備0.1nm垂直外延生長(cháng)能力、10nm平面圖形加工能力。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺擁有兩千米的百級、千級超凈間環(huán)境,是一個(gè)從材料外延生長(cháng)、芯片工藝開(kāi)發(fā)、器件研發(fā)制備到性能檢測完整的全流程、多功能平臺。擁有來(lái)自國內外知名企業(yè)及平臺經(jīng)驗豐富的專(zhuān)業(yè)微納加工工程師≥30人,可以為客戶(hù)提供從設計、材料、工藝、檢測全方位的定制化微納加工服務(wù)。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺本著(zhù)開(kāi)放共贏(yíng)的合作理念,歡迎高校、科研院所、中小微創(chuàng )業(yè)企業(yè)等各類(lèi)科技工作團體前來(lái)合作,開(kāi)展外延代工、工藝代工、科研合作、協(xié)助研發(fā)、中試和小批量生產(chǎn)、設備共享、超凈共享、人員培訓等相關(guān)技術(shù)服務(wù)。



青島翼晨鐳碩科技有限公司

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